特許
J-GLOBAL ID：200903059985326460
導電性反射防止膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-340944
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154001
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【目的】 第1層と第2層の一方、第3層と第4層の一方を各々光吸収層とし、さらに第5層および第6層を互いに異なる所定屈折率の誘電体層とすることで、平面状ブラウン管の表面に形成した場合にも、外光の表面反射を防止し得るととともに、内面反射をも低い値に抑えてゴースト現象の発生を防止し得る導電性反射防止膜を得る。【構成】 ガラス基体G上に、第1層として窒化チタン(TiNX)からなる層を、第2層として窒化ケイ素(SiNX)からなる層を、第3層として酸化ケイ素(SiO2)からなる層を、第4層として酸化ニッケル(NiOX)からなる層を、第5層として酸化チタン(TiO2)からなる層を、第6層として酸化ケイ素(SiO2)からなる層を順次積層形成してなるものである。光吸収層として機能する第1層の厚みは5〜25nmに設定され、また、光吸収層として機能する第4層の厚みは5〜50nmに設定される。
請求項（抜粋）：
ガラス基体上に、該ガラス基体側から順に、第1層から第6層まで積層されてなる光反射防止膜であって、前記第1層と第2層のうち一方が光吸収層として機能するTiNx層、他方がSiNx層からなり、前記第3層と第4層のうち、一方が光吸収層として機能する遷移金属の酸化物または窒化物からなる層、他方がSiの酸化物または窒化物からなる層からなり、前記第5層は屈折率nが1.9〜2.7の誘電体層からなり、前記第6層は屈折率nが1.35〜1.7の誘電体層からなることを特徴とする導電性反射防止膜。
Fターム (7件)：
2K009AA09
, 2K009AA12
, 2K009BB02
, 2K009CC02
, 2K009CC03
, 2K009DD04
, 2K009EE03
