特許

J-GLOBAL ID：200903060003350906

シートコイル用基板、シートコイル、シートコイルの製造方法、シートコイルを用いたステージ装置及びこれを有する露光装置、並びに、シートコイル用基板の製造方法

発明者： 岡田 明 ,  日下 勝博 ,  阿部 広昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-165390
公開番号（公開出願番号）：特開2000-358351
出願日： 1999年06月11日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】 シートコイルにおける電気的な接続不良を回避して歩留りを高め、且つ、体積占有率を低く抑えた積層シートコイルを作製できるシートコイル用基板を提供する。【解決手段】 シートコイル用基板20には、絶縁性シート21と絶縁膜23との間に複数の配線部材22,22...が形成されている。配線部材22,22...は各々周期性を有する波形状に形成され、かつ、互いの波形の周期が同期している。このシートコイル用基板20を折返し部にて折り返すことで各配線部材22,22...に対応付けられる略同一形状の複数のコイル31A,31B...が互いに空間的位相差をもって形成される。

請求項（抜粋）：

第1の絶縁性部材と、第2の絶縁性部材と、これら第1及び第2の絶縁性部材の間に形成された導電性を有する複数の配線部材とを有するシートコイル用基板であって、前記複数の配線部材は、各々周期性を有する波形状に形成され、かつ、互いの波形の周期が同期しており、当該シートコイル用基板を折り返すことで、各配線部材に対応付けられる略同一形状の複数のコイル部が互いに空間的位相差をもつコイルシートが形成されることを特徴とするシートコイル用基板。

IPC (3件)：

H02K 41/02 ,  H02K 3/26 ,  H02K 15/04

FI (3件)：

H02K 41/02 A ,  H02K 3/26 Z ,  H02K 15/04 D

Fターム (48件)：

5H603AA09 ,  5H603BB01 ,  5H603BB07 ,  5H603BB09 ,  5H603BB10 ,  5H603BB15 ,  5H603CA01 ,  5H603CA05 ,  5H603CB01 ,  5H603CB13 ,  5H603CC14 ,  5H603CC19 ,  5H603CD05 ,  5H603CD11 ,  5H603CD25 ,  5H603CD28 ,  5H603CE06 ,  5H603CE13 ,  5H603EE01 ,  5H603FA02 ,  5H603FA25 ,  5H615AA01 ,  5H615BB01 ,  5H615BB07 ,  5H615PP01 ,  5H615PP12 ,  5H615QQ06 ,  5H615QQ22 ,  5H615RR02 ,  5H615SS04 ,  5H615SS18 ,  5H615TT35 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH03 ,  5H641HH06 ,  5H641HH13 ,  5H641HH14 ,  5H641JA06 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05

引用特許：

審査官引用 (5件)

• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-176848   出願人：日本精工株式会社
• リニアモータおよびこれを用いたステージ装置ならびに露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294571   出願人：キヤノン株式会社
• 2次元リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276697   出願人：シャープ株式会社
• 特開平4-299332
  
• 特開昭49-037105