特許
J-GLOBAL ID：200903060061670970
金属バンプの形成方法及び金属粒振り込み用治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192853
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045727
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【構成】 基板10に治具20をセッティングした後、金属粒14を治具20上へ供給し、振動を与えることによってこれを治具20の孔23から金属パッド13上へ落とし込み、治具20を取り外した後、還元雰囲気中で加熱することにより、金属粒14の一部または全部を溶融させ、凹部12底面に形成された金属パッド13と接合させる金属バンプの形成方法。【効果】 基板10に形成された金属パッド13上に金属粒14が1個ずつ簡単に分配され、フラックスを用いなくとも金属粒14が金属パッド13上に保持され、金属パッド14を介して基板10上に金属バンプとしての金属粒14を確実に接合・形成することができる。この結果、従来行なわれていたフラックスの塗布や洗浄工程を省いてコストの削減を図ると共に、オゾン層破壊物質の拡散を防止することができる。
請求項（抜粋）：
少なくとも凹部底面に形成された複数個の金属パッドを備えた基板への金属バンプの形成方法であって、前記基板に金属粒振り込み用治具をセッティングした後、金属粒を前記治具上へ供給し、振動を与えることによって前記金属粒を前記治具の孔から前記金属パッド上へ落とし込み、該治具を取り外した後、還元雰囲気中で加熱することにより、前記金属粒の一部または全体を溶融させ、前記金属パッドと接合させることを特徴とする金属バンプの形成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/321
H01L 21/60 311 Q
, H01L 21/92 604 Z
, H01L 21/92 604 H
