特許

J-GLOBAL ID：200903060082318583

マーク識別装置

発明者： 横田 亨
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-206888
公開番号（公開出願番号）：特開2006-032521
出願日： 2004年07月14日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】 マークを有する基板を用いることなく取得した画像から測定すべきマークを識別することができるマーク識別装置を提供する。 【解決手段】 ウエハ11上のマークの形状及び設計サイズをレシピに予め登録しておき、測定の始めに測定対象のウエハ上のマークを撮像し、取得した画像から、レシピに登録された形状及び設計サイズのマークと一致するマークを測定対象であるとして検出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

マークの形状及び設計サイズをレシピに登録する登録手段と、 測定すべき基板を撮像し、取得した画像から、前記レシピに登録された形状及び設計サイズと一致するマークを検出する検出手段と を備えていることを特徴とするマーク識別装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/02 ,  G03F 9/00 ,  G01B 11/24

FI (5件)：

H01L21/30 525W ,  G01B11/02 H ,  G03F9/00 H ,  G01B11/24 K ,  H01L21/30 525P

Fターム (22件)：

2F065AA21 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR05 ,  5F046BA03 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 寸法測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-269084   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (5件)

• パターン形状検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-343083   出願人：株式会社日立製作所
• 基準マーク検索方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-280303   出願人：富士機械製造株式会社
• 特開平2-305433
  
• 特開平4-295748
  
• 寸法測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-269084   出願人：株式会社ニコン