特許
J-GLOBAL ID:200903060087013667
微小物体のマニピュレーション方法とその装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
清水 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-013522
公開番号(公開出願番号):特開2002-219700
出願日: 2001年01月22日
公開日(公表日): 2002年08月06日
要約:
【要約】【課題】 電気的に集光点を操作し、微小物体を移動させることができる微小物体のマニピュレーション方法とその装置を提供する。【解決手段】 複数個のレーザ光を発する面発光レーザからなる光源(VCSELアレイ)1と、この光源1からのレーザ光をステージ2上の試料17に集光するマイクロレンズアレイ18、レンズ12A、レンズ12B、レンズ13A、ダイクロイックミラー15、対物レンズ16からなる光学系とを備え、前記光源1の各発光素子を空間的・時間的に強度変調を行い、微小物体を捕捉・移動させる。
請求項(抜粋):
複数個のレーザ光を発する面発光レーザを光源とし、その各発光素子を空間的・時間的に強度変調を行い、微小物体を捕捉・移動させることを特徴とする微小物体のマニピュレーション方法。
IPC (3件):
B81C 5/00
, H01S 5/183
, H01S 5/42
FI (3件):
B81C 5/00
, H01S 5/183
, H01S 5/42
Fターム (6件):
5F073AB04
, 5F073AB17
, 5F073AB21
, 5F073AB27
, 5F073BA09
, 5F073GA37
引用特許:
前のページに戻る