特許
J-GLOBAL ID：200903060102145605

塗布装置

発明者：
河村 吉久

河村 吉久 について

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宿南 友幸

宿南 友幸 について

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多田 昌広

多田 昌広 について

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松本 泰明

松本 泰明 について

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楠 進也

楠 進也 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-398068
公開番号（公開出願番号）：特開2003-190860
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、不純物や気泡の除去及び発生を防止し、不純物や気泡を含まない流体を塗布対象物に塗布し得る塗布装置を提供することである。他の目的は、タクトタイムの低下を防止し得る塗布装置を提供することである。【解決手段】 塗布装置10は、タンク90と吸引流路21と入口弁22とフィードポンプ20と搬送流路50とフィルタ40とフィルタ排出機構70とディスペンスポンプ30と吐出流路60と出口弁62とを具備している。フィードポンプは、容積を固定し得る搬送チャンバー25と気泡並びに流体を排出する搬送チャンバー排出部80とを有し、搬送チャンバー排出部は、搬送チャンバー排出弁82を有している。ディスペンスポンプは、容積を固定し得る分与チャンバー33を有し、フィルタ排出機構70は、フィルタチャンバー41に接続された第1排出部71とフィルタ出口42に接続された第2排出部72とを有している。
請求項（抜粋）：
塗布対象物に塗布するための流体を貯蔵しているタンクと、前記流体の流路であり、前記タンクの中の液体に一端が接続される吸引流路と、前記吸引流路中に配置されており、前記吸引流路の開閉を行う入口弁と、前記吸引流路の他端が接続されており、前記流体を前記タンクから吸引するとともに受容し、受容した前記流体を押し出すフィードポンプと、前記流体の流路であり、前記フィードポンプに一端が接続されている搬送流路と、前記搬送流路中に配置されており、前記流体をろ過するためのフィルタと、前記フィルタ中に配置されており、気泡並びに前記流体の一部を排出するためのフィルタ排出機構と、前記搬送流路の他端が接続されており、前記流体を所定量受容し、前記流体を所定量吐出するディスペンスポンプと、前記流体の流路の上方であり、一端が前記ディスペンスポンプに接続されており、他端が流体の吐出口に接続されている吐出流路と、前記吐出流路中に配置されており、前記吐出流路の開閉を行う出口弁と、を具備しており、前記フィードポンプは、前記流体を受容するとともに自身の容積を所定の量に維持し得る搬送チャンバーと、搬送チャンバー中の気泡並びに流体の一部を排出するための搬送チャンバー排出部と、を有しており、前記搬送チャンバー排出部は、排出する気体並びに流体の流路の開閉を行う搬送チャンバー排出弁を有しており、前記ディスペンスポンプは、前記流体を受容するとともに自身の容積を所定の量に維持し得る分与チャンバーを有しており、前記フィルタ排出機構は、排出する気体並びに流体の流路の開閉を行う排出機構弁を有している塗布装置。
IPC (4件)：
B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
B05C 5/00 101 ,  B05C 11/00 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 C
Fターム (24件)：
2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  4F041AA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA32 ,  4F041BA34 ,  4F041BA35 ,  4F042AA01 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AA08 ,  4F042AA10 ,  4F042BA02 ,  4F042CA01 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB11 ,  4F042CB19 ,  4F042CB25 ,  5F046JA01 ,  5F046JA08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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