特許

J-GLOBAL ID：200903060107473880

搬送台車

発明者： 山岸 雅之 ,  小田島 広樹
出願人/特許権者： NECエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 速水 進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-192088
公開番号（公開出願番号）：特開2006-013385
出願日： 2004年06月29日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】複数台を連結して移動可能であり、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率に優れる搬送台車を提供する。【解決手段】搬送台車100は、ウェハキャリア101を保持するアーム103を有する。搬送台車100は、手押し操作により移動可能である台車本体106と、台車本体106に設けられている連結部Aと、を備える。連結部Aは、搬送台車100の台車本体106と、隣接する他の搬送台車100の台車本体106と、を連結するとともに、台車本体106と他の台車本体106とを連結した状態で、台車本体106に対する他の台車本体106の相対位置を調整可能に構成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェハキャリアを載置し、手押し操作により移動可能である台車本体と、 前記台車本体に設けられた連結部と、 を備える搬送台車であって、 前記連結部は、前記搬送台車の台車本体と、隣接する他の搬送台車の台車本体と、を連結するとともに、前記台車本体と前記他の台車本体とを連結した状態において前記台車本体に対する前記他の台車本体の相対位置を調整可能とするように構成されたことを特徴とする搬送台車。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ,  B62B 3/10 ,  B62B 5/00 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B62B3/10 Z ,  B62B5/00 C ,  B65G49/07 L

Fターム (18件)：

3D050AA11 ,  3D050BB01 ,  3D050EE08 ,  3D050EE15 ,  3D050KK02 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA57 ,  5F031JA01 ,  5F031JA22 ,  5F031KA10 ,  5F031KA20 ,  5F031PA09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 半導体基板用キャリアの搬送台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-037998   出願人：NECエレクトロニクス株式会社
• 半導体キャリアの移載装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-197877   出願人：神鋼電機株式会社

審査官引用 (6件)

• 台 車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-103115   出願人：河崎淳三郎
• 半導体基板用キャリアの搬送台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-037998   出願人：NECエレクトロニクス株式会社
• 運搬台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-024647   出願人：岐阜プラスチック工業株式会社
• 荷物移動台車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-335476   出願人：株式会社ブリード
• 親子台車及び親台車の構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-236166   出願人：東急建設株式会社, 横浜エレベータ株式会社
• 台 車
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-082330   出願人：株式会社キョードー