カーボンナノチューブの合成方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：平山一幸 , 篠田哲也 , 海津保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-133745
公開番号（公開出願番号）：特開2005-314161
出願日： 2004年04月28日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：

【課題】単層カーボンナノチューブのみ又は単層及び二層カーボンナノチューブのみを選択的に合成でき、且つ、大量に低コストで合成できるカーボンナノチューブの合成方法を提供する。【解決手段】表面に酸化ケイ素膜22を有するSi基板21上に、膜厚を制御して遷移金属23を堆積し、均一なサイズ、且つ均一に島状に分布した遷移金属微粒子23を形成し、この基板を酸化処理し、遷移金属酸化物微粒子24を形成する。この基板を有機液体中に浸漬し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱する。遷移金属の膜厚を6nm以下に制御すると、単層カーボンナノチューブのみを合成できる。遷移金属の膜厚を6nm以上で15nm以下に制御すると、単層及び二層カーボンナノチューブのみを合成できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜を基板表面に形成し、この沈み込み防止膜上に上記触媒の酸化物からなる触媒酸化物微粒子を島状に担持させ、この基板を有機液体中に浸漬し、カーボンナノチューブの合成温度に昇温する際に、上記触媒酸化物微粒子がクラスターに分解されると共に、このクラスターから上記触媒からなる微粒子が成長し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱することにより、この生成した触媒微粒子上にカーボンナノチューブを成長することを特徴とする、カーボンナノチューブの合成方法。

IPC (2件)：

C01B31/02 , B01J23/745

FI (2件)：

C01B31/02 101F , B01J23/74 301M

Fターム (53件)：

4G069AA15 , 4G069BA02A , 4G069BA02B , 4G069BB04A , 4G069BB04B , 4G069BC29A , 4G069BC66A , 4G069BC66B , 4G069BC67A , 4G069BC68A , 4G069CB35 , 4G069CC40 , 4G069DA05 , 4G069EA08 , 4G069EB19 , 4G069FA05 , 4G069FB02 , 4G069FB30 , 4G146AA11 , 4G146AA12 , 4G146AC03B , 4G146AD23 , 4G146AD24 , 4G146AD25 , 4G146AD29 , 4G146AD30 , 4G146AD31 , 4G146AD37 , 4G146BA11 , 4G146BA49 , 4G146BC03 , 4G146BC08 , 4G146BC33B , 4G146BC44 , 4G146DA03 , 4G169AA15 , 4G169BA02A , 4G169BA02B , 4G169BB04A , 4G169BB04B , 4G169BC29A , 4G169BC66A , 4G169BC66B , 4G169BC67A , 4G169BC68A , 4G169CB35 , 4G169CC40 , 4G169DA05 , 4G169EA08 , 4G169EB19 , 4G169FA05 , 4G169FB02 , 4G169FB30

引用特許：

出願人引用 (2件)

有機液体による高配向整列カーボンナノチューブの合成方法及びその合成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-193629 出願人：科学技術振興事業団, 独立行政法人物質・材料研究機構
炭素繊維の製造方法及びその製造用触媒
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-072472 出願人：独立行政法人科学技術振興機構, 独立行政法人物質・材料研究機構

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