特許
J-GLOBAL ID：200903060169859378
基板検査装置並びにそのパラメータ設定方法およびパラメータ設定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
世良 和信
, 和久田 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-003725
公開番号（公開出願番号）：特開2006-194607
出願日： 2005年01月11日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】基板検査装置に用いられるパラメータを自動生成可能な技術を提供する。【解決手段】パラメータ設定装置が、良品画像の検査領域内の各画素の色を対象点として、不良品画像の検査領域内の各画素の色を除外点として、それぞれ色空間にマッピングし、対象点の数と除外点の数の差が最大となるような色範囲を求める。次に、各検査領域から色範囲に含まれる画素領域を抽出し、その画素領域のもつ特徴量の分布から、良・不良を分離するためのしきい値と、良品分布と不良品分布との分離度とを求める。そして、検査領域を変更しながら上記処理を繰り返して、各々の検査領域について色範囲、しきい値および分離度を算出し、分離度が最大となった検査領域、色範囲およびしきい値をそれぞれ基板検査で用いるパラメータとして設定する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板上の実装部品に異なる入射角で複数の色の光を照射し、その反射光を撮像して得られた画像から検査領域を抽出し、その検査領域から所定の色条件を満たす領域を抽出し、抽出された領域のもつ特徴量が所定の判定条件を満たすか否かで前記部品の実装状態を検査する基板検査装置において用いられるパラメータを自動生成する方法であって、
情報処理装置が、
検査領域の初期値を設定し、
検査により検出されるべき部品を撮像して得られた複数の画像の各々から検査領域の部分を対象画像として抽出し、
検査により除外されるべき部品を撮像して得られた複数の画像の各々から検査領域の部分を除外画像として抽出し、
対象画像の各画素の色を対象点として、除外画像の各画素の色を除外点として、それぞれ色空間にマッピングし、
前記色空間を分割する色範囲であって、そこに含まれる対象点の数と除外点の数の差が最大となるような色範囲を求め、
前記対象画像および前記除外画像のそれぞれから前記色範囲に含まれる画素領域を抽出して、その画素領域のもつ特徴量についての特徴量ヒストグラムを作成し、
前記特徴量ヒストグラムの度数分布に基づいて前記対象画像の特徴量と前記除外画像の特徴量とを分離するためのしきい値を算出し、
前記特徴量ヒストグラムにおける前記対象画像の度数分布と前記除外画像の度数分布の間の分離度を算出し、
検査領域を変更しながら上記処理を繰り返して、各々の検査領域について色範囲、しきい値および分離度を算出し、
算出された中で分離度が最大となった検査領域、色範囲およびしきい値をそれぞれ基板検査で用いる検査領域、色条件、判定条件として設定する
基板検査装置のパラメータ設定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 B
, H05K3/34 512B
2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051AB14
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051CA04
, 2G051DA07
, 2G051EA11
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 2G051ED04
, 2G051ED21
, 5E319AA01
, 5E319CC22
, 5E319CD53
, 5E319GG15
