特許

J-GLOBAL ID：200903060186357475

異なる波長の光を用いた物品の検査方法及び装置

発明者： 高木 雄次 ,  小里 建一郎 ,  村瀬 量哉 ,  甲斐 千束 ,  寺本 忠義
出願人/特許権者： 株式会社エヌテック ,  株式会社ヤクルト本社 ,  東邦商事株式会社
代理人 (1件)： 後藤 憲秋 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-033539
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116700
出願日： 2000年02月10日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 複数の光源による光学的検査を単一のステージ又は近接したステージで行うことが可能で、検査のためのスペース及び時間ならびにコストを低減することができる新規な光学的検査方法及び装置を提案する。【解決手段】 互いに異なる波長域の光L1,L2,L3を発する複数の光源11,12,13によって被検査物品Wを照射するとともに、前記被検査物品からの光を受光するカメラ31,32,33の光軸上には前記複数の波長域の光のうち特定の波長域の光を反射し他の波長域の光を透過する分光部材21,22,23を介在させ、前記分光部材によって分光された各波長域の光に対応して配置されたそれぞれのカメラ31,32、33によって画像を撮影し検査する。

請求項（抜粋）：

互いに異なる波長域の光を発する複数の光源によって被検査物品を照射するとともに、前記被検査物品からの光を受光するカメラの光軸上には前記複数の波長域の光のうち特定の波長域の光を透過又は反射する分光部材を介在させ、前記分光部材によって分光された各波長域の光を前記カメラによって受光し画像を撮影して検査することを特徴とする異なる波長の光を用いた物品の検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  G01N 21/90

FI (2件)：

G01N 21/84 E ,  G01N 21/90 A

Fターム (13件)：

2G051AA11 ,  2G051AA12 ,  2G051AA21 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭60-003542
  
• 画像式打栓状態検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-331717   出願人：三菱重工業株式会社
• 撮像式の評価装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-256205   出願人：株式会社クボタ
• 特開昭62-113050