特許

J-GLOBAL ID：200903060220691657

露光装置、データ管理方法およびデバイス製造方法

発明者： 広瀬 益久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-207089
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031030
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 他の半導体露光装置等で作成されたプログラムおよびデータファイルに対する連携性や操作性を向上させる。【解決手段】 ネットワークに接続された露光装置1において、他の露光装置1、ワークステーション2、またはサーバ3に記憶されている互換性のあるデータファイルまたはプログラムを検索する検索手段を設ける。

請求項（抜粋）：

ネットワークに接続された露光装置において、他の露光装置、ワークステーション、またはサーバに記憶されている互換性のあるデータファイルまたはプログラムを検索する検索手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/22 ,  G06F 13/00 351

FI (3件)：

H01L 21/30 502 Z ,  G03F 7/22 H ,  G06F 13/00 351 H

Fターム (16件)：

5B089AA16 ,  5B089AA21 ,  5B089AA22 ,  5B089AB06 ,  5B089AC03 ,  5B089AD05 ,  5B089AE03 ,  5B089AE09 ,  5B089AF05 ,  5B089BB06 ,  5B089BB09 ,  5F046AA22 ,  5F046AA28 ,  5F046DA04 ,  5F046DD02 ,  5F046DD06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 露光システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-106207   出願人：株式会社ニコン
• デバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294671   出願人：キヤノン株式会社
• 製造装置管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-332970   出願人：株式会社ニコン
• 特開平4-305913