特許
J-GLOBAL ID：200903060270578550
像評価方法及び顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-024988
公開番号（公開出願番号）：特開2007-128913
出願日： 2007年02月05日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：
【課題】 本発明の目的は、顕微鏡像の像分解能を客観的判断のもとに評価できる像評価方法の提供にある。【解決手段】 画像の部分領域の分解能を、前記画像全体或いは前記画像の一部領域に亘って求め、前記画像全体或いは前記一部領域に亘って平均化し、前記画像全体、或いは一部領域の分解能評価値とすることを特徴とする像評価方法を提供する。このような構成によれば、顕微鏡の像分解能の評価において、評価者の主観が入り込まないので、像分解能の評価値に対して高い精度と良い再現性を達成できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
画像の像分解能を評価する方法であって、画像の或る部分の勾配を求め、当該部分を認
識するのに必要な距離を前記勾配から計算し、当該計算を前記画像全体、或いは画像の一
部領域に亘って行い、当該計算によって得られた値を前記画像全体、或いは一部領域に亘
って平均化した結果を像分解能評価値とすることを特徴とする像評価方法。
IPC (3件)：
H01J 37/28
, H01J 37/22
, H01L 21/66
H01J37/28 B
, H01J37/22 502H
, H01L21/66 J
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA38
, 4M106DB05
, 4M106DB18
, 4M106DB30
, 4M106DJ17
, 4M106DJ20
, 5C033UU05
