特許
J-GLOBAL ID：200903060300899488

圧電振動ジャイロ素子および圧電振動片

発明者：
山口 啓一

山口 啓一 について

, 
江口 誠

江口 誠 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-083381
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266784
出願日： 2005年03月23日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 各振動腕に溝部を備えた圧電振動ジャイロ素子および圧電振動片において、過度な力が振動腕に加わったときに振動腕の折れの発生を軽減できる圧電振動ジャイロ素子および圧電振動片を提供する。【解決手段】 基部11と、基部11より延出される検出振動腕12および基部15より延出される駆動振動腕16とを備え、検出振動腕12および駆動振動腕16の一方の主面と他方の主面にそれぞれ溝部20,21を有する圧電振動ジャイロ素子であって、溝部20,21の平面視において溝部20,21の各終端の角部23,25が面取り形状に形成される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基部と、前記基部より延出される駆動振動腕および検出振動腕とを備え、前記駆動振動腕および前記検出振動腕の一方の主面と他方の主面にそれぞれ溝部を有する圧電振動ジャイロ素子であって、 前記溝部の各終端の角部が平面視において面取り形状で形成されていることを特徴とする圧電振動ジャイロ素子。
IPC (4件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18
FI (4件)：
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/18 101A
Fターム (8件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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