特許
J-GLOBAL ID：200903060348947999

外観検査装置及び投影方法

発明者：
黒沢 俊郎

黒沢 俊郎 について

, 
山崎 祥平

山崎 祥平 について

, 
宮▲崎▼ 陽子

宮▲崎▼ 陽子 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (5件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  小林 龍 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-202900
公開番号（公開出願番号）：特開2006-023221
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2006年01月26日
要約：
【課題】 照明方法、照明形状及び試料の投影像の空間フィルタを、外観検査中に動的に変更することが可能な外観検査装置及びその試料の投影像の投影方法を提供する。【解決手段】 外観検査装置の照明光学系12、13及び撮像光学系21、22を、対物レンズ3の瞳位置8との共役点にミラーアレイデバイス15、25を配置した反射光学系として構成し、ミラーアレイデバイス15、25を試料2上の対物レンズ3の視野位置に応じて制御する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
光源と、 対物レンズと、 前記光源から生じた照明光を前記対物レンズを介して試料に照射する照明光学系と、 前記対物レンズにより投影された前記試料の像をさらに撮像装置上に投影する撮像光学系とを備え、 前記照明光学系は、前記対物レンズの瞳位置との共役点にミラーアレイデバイスを配置した反射光学系をなすことを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
Fターム (34件)：
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065HH04 ,  2F065HH16 ,  2F065HH17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL05 ,  2F065LL11 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • ウエハ欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-351965   出願人：株式会社東京精密
  • 外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-265197   出願人：株式会社東京精密
  • 外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-265127   出願人：株式会社東京精密
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審査官引用 (2件)

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