特許

J-GLOBAL ID：200903060350064700

弾性境界波素子、共振器およびフィルタ

発明者： 三浦 道雄 ,  松田 聡 ,  松田 隆志 ,  上田 政則 ,  水戸部 整一
出願人/特許権者： 富士通メディアデバイス株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-017473
公開番号（公開出願番号）：特開2007-267366
出願日： 2007年01月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】弾性境界波素子の機能として使用する弾性境界波の近傍の周波数に出現するストンリー波を抑圧することが可能な弾性境界波素子、共振器およびフィルタを提供すること。【解決手段】本発明は、LiNbO3基板10と、基板10上に設けられた弾性波を励振する電極16と、基板10上に電極16を覆うように設けられた酸化シリコン膜12と、を有する。そして、基板10の回転Yカット角、電極16の密度のCuの密度に対する比、電極16に励振される弾性波の波長、電極16の膜厚、酸化シリコン膜12の膜厚をストンリー波の電気機械結合係数が0.00015以下の範囲となるように設定することを特徴とする弾性境界波素子、共振器、フィルタである。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

LiNbO3基板と、 該基板上に設けられた弾性波を励振する電極と、 前記基板上に前記電極を覆うように設けられた酸化シリコン膜と、を具備し、 前記基板の回転Yカット角をθ、前記電極の密度の銅の密度に対する比をa、前記電極に励振される弾性波の波長をλ、前記電極の膜厚をh、前記酸化シリコン膜の膜厚をHとしたとき、 0.045λ/a≦h<0.0525λ/aであって、 25°≦θ<26.5°のとき0.39λ≦H<0.46λ、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.41λ≦H<0.48λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.42λ≦H<0.51λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.43λ≦H<0.53λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.45λ≦H<0.56λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.46λ≦H<0.58λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.47λ≦H<0.61λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.48λ≦H<0.64λ、 33.5°≦θ<35°のとき0.48λ≦H<0.67λ、 35°≦θ<37.5°のとき0.5λ≦H<0.74λ、 37.5°≦θ<42°のとき0.52λ≦H<0.8λ、 42°≦θ<57°のとき0.55λ≦H<0.8λ、 57°≦θ<63°のとき0.51λ≦H<0.8λ、 63°≦θ<69°のとき0.46λ≦H<0.8λ、 69°≦θ<75°のとき0.39λ≦H<0.8λ、 75°≦θ<99°のとき0.3λ≦H<0.8λ、および 99°≦θ<105°のとき0.58λ≦H<0.8λ であり、または、 0.0525λ/a≦h<0.065λ/aであって、 24°≦θ<25°のとき0.3λ≦H<0.32λ、 25°≦θ<26.5°のとき0.3λ≦H<0.37λ、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.33λ≦H<0.38λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.34λ≦H<0.41λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.37λ≦H<0.43λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.39λ≦H<0.44λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.42λ≦H<0.47λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.44λ≦H<0.48λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.47λ≦H<0.49λ、 33.5°≦θ<34.5°のとき0.47λ≦H<0.51λ、 34.5°≦θ<35.5°のとき0.48λ≦H<0.57λ、 35.5°≦θ<36.5°のとき0.5λ≦H<0.62λ、 36.5°≦θ<38°のとき0.52λ≦H<0.67λ、 38°≦θ<40.5°のとき0.54λ≦H<0.79λ、 40.5°≦θ<43.5°のとき0.58λ≦H<0.8λ、 43.5°≦θ<46.5°のとき0.61λ≦H<0.8λ、 46.5°≦θ<51°のとき0.64λ≦H<0.8λ、 51°≦θ<57°のとき0.69λ≦H<0.8λ、および 57°≦θ<63°のとき0.78λ≦H<0.8λ であり、または、 0.065λ/a≦h<0.0725λ/aであって、 25.5°≦θ<26.5°のとき0.3λ≦H<0.32λ、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.36λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.38λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.32λ≦H<0.43λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.34λ≦H<0.46λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.36λ≦H<0.5λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.39λ≦H<0.55λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.43λ≦H<0.6λ、 33.5°≦θ<35°のとき0.46λ≦H<0.66λ、 35°≦θ<36.5°のとき0.54λ≦H<0.8λ、 36.5°≦θ<37.5°のとき0.59λ≦H<0.8λ、 37.5°≦θ<38.5°のとき0.65λ≦H<0.8λ、および 38.5°≦θ<39°のとき0.73λ≦H<0.8λ であり、または、 0.0725λ/a≦h<0.0775λ/aであって、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.35λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.39λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.3λ≦H<0.43λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.33λ≦H<0.49λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.35λ≦H<0.56λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.39λ≦H<0.63λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.43λ≦H<0.75λ、 33.5°≦θ<34.5°のとき0.47λ≦H<0.8λ、 34.5°≦θ<35.5°のとき0.52λ≦H<0.8λ、 35.5°≦θ<36.5°のとき0.57λ≦H<0.8λ、 36.5°≦θ<37.5°のとき0.63λ≦H<0.8λ、および 37.5°≦θ<38.5°のとき0.72λ≦H<0.8λ であり、または、 0.0775λ/a≦h<0.0825λ/aであって、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.34λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.41λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.3λ≦H<0.47λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.32λ≦H<0.56λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.36λ≦H<0.69λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.39λ≦H<0.8λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.44λ≦H<0.8λ、 33.5°≦θ<35°のとき0.5λ≦H<0.8λ、 35°≦θ<36.5°のとき0.65λ≦H<0.8λ、および 36.5°≦θ<38°のとき0.77λ≦H<0.8λ であり、または 0.0825λ/a≦h<0.0875λ/aであって、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.36λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.44λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.3λ≦H<0.57λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.32λ≦H<0.8λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.37λ≦H<0.8λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.43λ≦H<0.8λ、 32.5°≦θ<33.5°のとき0.51λ≦H<0.8λ、 33.5°≦θ<34.5°のとき0.59λ≦H<0.8λ、および 34.5°≦θ<35.5°のとき0.72λ≦H<0.8λ であり、または 0.0875λ/a≦h<0.0925λ/aであって、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.39λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.58λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.33λ≦H<0.8λ、 30.5°≦θ<31.5°のとき0.43λ≦H<0.8λ、 31.5°≦θ<32.5°のとき0.53λ≦H<0.8λ、および 32.5°≦θ<33.5°のとき0.67λ≦H<0.8λ であり、または、 0.0925λ/a≦h<0.0975λ/aであって、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.63λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、 28.5°≦θ<29.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、 29.5°≦θ<30.5°のとき0.42λ≦H<0.8λ、および 30.5°≦θ<31.5°のとき0.6λ≦H<0.8λ であり、または、 0.0975λ/a≦h<0.1025λ/aであって、 25.5°≦θ<26.5°のとき0.32λ≦H<0.7λ、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、および 28.5°≦θ<29.5°のとき0.45λ≦H<0.8λ であり、または、 0.1025λ/a≦h<0.1125λ/aであって、 24.5°≦θ<25.5°のとき0.6λ≦H<0.8λ、 25.5°≦θ<26.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、 26.5°≦θ<27.5°のとき0.3λ≦H<0.8λ、および 27.5°≦θ<28.5°のとき0.3λ≦H<0.33λ若しくは0.64λ≦H<0.8λ であり、または、 0.1125λ/a≦h≦0.12λ/aであって、 22.5°≦θ<23.5°のとき0.47λ≦H<0.76λ、および 23.5°≦θ<24.5°のとき0.36λ≦H<0.45λ であることを特徴とする弾性境界波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 9/25

FI (3件)：

H03H9/145 C ,  H03H9/145 Z ,  H03H9/25 C

Fターム (10件)：

5J097AA14 ,  5J097BB02 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097FF05 ,  5J097GG04 ,  5J097GG05 ,  5J097GG07 ,  5J097KK04 ,  5J097KK05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 弾性表面波基板及び弾性表面波機能素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-051053   出願人：山之内和彦

審査官引用 (5件)

• 特願2007-514473
  出願番号：特願2007-514473  
• 圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置および圧電共振子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-338036   出願人：株式会社村田製作所
• 分波器および通信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-314646   出願人：株式会社村田製作所
• 特願2007-514473
  出願番号：特願2007-514473  
• 特願2007-514473
  出願番号：特願2007-514473