特許
J-GLOBAL ID：200903077688992956

弾性表面波基板及び弾性表面波機能素子

発明者：
山之内 和彦

山之内 和彦 について


出願人/特許権者：
山之内 和彦

山之内 和彦 について


代理人 (1件)： 野▲崎▼ 照夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-051053
公開番号（公開出願番号）：特開2003-209458
出願日： 2002年02月27日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：
【要約】【課題】 周波数温度特性に優れた薄膜構造の高結合擬似弾性表面波基板および高周波帯の挿入損失を低下させる弾性表面波機能素子を提供する。【解決手段】 LiNbO3基板上にSiO2膜の薄膜層を形成するとともに、前記LiNbO3基板の回転Y板のカット角度を-10度から+30度とし、前記薄膜層の膜厚寸法をH、前記弾性表面波の動作中心周波数の波長をλとしたときに、H/λの値を0.115から0.31とした。その結果、レーレー型の弾性表面波よりも早い速度の擬似弾性表面波に対する電気機械結合係数k2を0.20以上にでき、かつ周波数温度特性を-30から+30ppm/°Cの各範囲とすることができ、電気機械結合係数k2が大きく、周波数温度特性の優れた機能素子を得ることができる。
請求項（抜粋）：
電気機械結合係数の大きな圧電性あるいは電歪性基板上に、温度変化に対する弾性表面波の周波数の変動特性が前記基板と逆の特性である薄膜が積層された弾性表面波基板であって、前記基板は、回転Y板のカット角度が-10度以上で+30度以下の範囲で、レーレー型の弾性表面波よりも速い伝搬速度を有する擬似弾性表面波が、X軸方向あるいは前記X軸方向に対してプラス・マイナス5度の範囲で伝搬するLiNbO3基板であり、前記薄膜の膜厚をH、前記擬似弾性表面波の動作中心周波数での波長をλとしたときに、H/λの値が0.05から0.35の範囲であることを特徴とする弾性表面波基板。
IPC (4件)：
H03H 9/25 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H03H 9/145
FI (4件)：
H03H 9/25 C ,  H03H 9/145 C ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 A
Fターム (14件)：
5J097AA01 ,  5J097AA06 ,  5J097AA21 ,  5J097BB01 ,  5J097DD11 ,  5J097DD17 ,  5J097EE10 ,  5J097FF05 ,  5J097GG04 ,  5J097HA03 ,  5J097KK02 ,  5J097KK04 ,  5J097KK07 ,  5J097KK09
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開平2-295211
  • 弾性表面波素子電極
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-006311   出願人：株式会社日立製作所
  • 弾性表面波デバイス
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-063957   出願人：日本電気株式会社
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審査官引用 (6件)
  • 特開平2-295211
  • 弾性表面波素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-135483   出願人：富士通株式会社
  • 特開昭63-260213
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引用文献：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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