圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、通信装置および圧電共振子の製造方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-338036
公開番号（公開出願番号）：特開2004-221622
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

【課題】共振周波数の温度特性を安定させた圧電薄膜共振子、その製造方法および圧電薄膜共振子を用いた電子通信機器を提供することを目的とする。【解決手段】圧電薄膜共振子1は、開口5を有する基板2と、該基板2の一方の面上に前記開口5を覆うように形成されたSiO2および酸素欠損を有し、かつアモルファス状態であるAl2O3をそれぞれ主成分とする第1,第2の絶縁膜6,7と、該絶縁膜7上に、電極8,9で挟み込まれるように形成されたZnOを主成分とする圧電薄膜10とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に形成されている、少なくとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極及び下部電極を厚み方向で対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子において、前記基板と前記振動部の間に第1,第2の絶縁膜が形成されており、前記第1,第2の絶縁膜及び前記圧電薄膜の内の一つのものの共振周波数の温度係数が、残余のものの共振周波数の温度係数とは逆符号であることを特徴とする、圧電共振子。

IPC (10件)：

H03H9/17 , C23C14/08 , C23C14/10 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H3/02 , H03H9/02 , H03H9/58

FI (11件)：

H03H9/17 F , C23C14/08 A , C23C14/10 , H03H3/02 B , H03H9/02 N , H03H9/58 A , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/22 Z , H01L41/08 D , H01L41/18 101Z

Fターム (20件)：

4K029AA06 , 4K029BA44 , 4K029BA46 , 4K029BA49 , 4K029BB02 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029DC35 , 4K029DC39 , 4K029EA02 , 4K029EA03 , 5J108AA04 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108KK01 , 5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平4-354411
特開平3-046504
特開昭58-137317

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