特許

J-GLOBAL ID：200903060442498790

感光性コーティング樹脂組成物

発明者： 木村 正志
出願人/特許権者： 旭化成エレクトロニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-017654
公開番号（公開出願番号）：特開2005-208527
出願日： 2004年01月26日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】 優れたリソグラフィー特性と高い保存安定性を有する、新規な感光性コーティング樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下式(1)で表されるポリアミドと、ベンゼン環を有するグリコールエーテル類を10質量%以上含有する有機溶媒と、感光剤からなるコーティング樹脂組成物を用いる。【化1】(式中、R1は2〜8価の有機基、R2は2〜8価の有機基、R3、R4、R5、R6は水素原子、および/または炭素数1〜20までの1価の有機基である。ただし、R3、R4の全てが水素原子であることはない。また、nは2〜150の整数であり、p、qは0〜2の整数、r、sは0〜4の整数である。ただし、pまたはsの少なくとも片方は0ではない。)【選択図】 選択図なし。

請求項（抜粋）：

A)下式(1)で表される構造単位を有するポリアミド100質量部と、 B)下式(2)で表されるグリコールエーテル類を10質量%以上含有する有機溶媒20〜1000質量部と、 C)感光剤1〜20質量部とを含有することを特徴とする感光性コーティング樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/037 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (17件)：

2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD05 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096HA01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 耐熱性樹脂前駆体組成物、耐熱性樹脂の製造方法及び耐熱性樹脂
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-069882   出願人：住友ベークライト株式会社
• 感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-158401   出願人：住友ベークライト株式会社