特許
J-GLOBAL ID：200903060467113222
表面粗さ形状測定における傾斜補正方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234439
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075448
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 ワークの表面粗さ形状測定において、自由曲面形状ワークでも、表面粗さ形状を正確に解析することが容易な表面粗さ形状測定における傾斜補正方法及びその装置を提供する。【構成】 測定データの演算対象長さを2つ以上の区間に区分して境界を設定するとともに、測定データから各境界における値を特定して境界点を設定し、スプライン曲線、ベジェ曲線、Bスプライン曲線のいずれかで補間曲線を設定して、設定された補間曲線を測定データから除去する。
請求項（抜粋）：
ワークの表面形状を接触式検出器または非接触式検出器で測定し、得られた測定データを処理してワークの表面粗さ形状を求める表面粗さ形状測定における、前記測定データからワークの輪郭形状成分を除去する傾斜補正方法であって、前記測定データの演算対象長さを設定し、前記演算対象長さを2つ以上の区間に区分して境界を設定し、前記測定データから前記境界における値を特定して境界点を設定し、すべての前記境界点を通るスプライン曲線で補間曲線を設定し、設定された前記補間曲線を前記測定データから除去することを特徴とする表面粗さ形状測定における傾斜補正方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 102
, G12B 5/00
