圧電振動子とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高宗寛暁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-277954
公開番号（公開出願番号）：特開平11-103231
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】従来の性能を維持しつつ低コストとし、かつ薄型・小型の特徴を維持或いは改善し、更にはSMD実装にも適した圧電振動子の構成を提供し、また百個〜千個単位の集合状態で最終工程直前までの加工を可能にすることによって、一層の低コスト化を達成した圧電振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】圧電振動片の励振端子を外部に導くスルーホールの周囲直近部を除く上面が金属層で覆われた平板状の樹脂材料より成る下ケース上に、同位置にスルーホールを有するセラミック材の中枠を固着し、その上に振動片をマウントし、下ケースの金属層周縁部に金属蓋をロウ付けした圧電振動子の構造。また下ケースおよび蓋を集合体のまま封入までの工程を済ませ、最後に個々の振動子に切断分離する製造方法。

請求項（抜粋）：

所定数のスルーホールの周囲直近部を除く上面が金属層で覆われ、下面には前記スルーホールの下面側と接続する端子電極が設けられたほぼ平板状の樹脂材料より成る下ケースと、該下ケースの上面に固着され、前記スルーホールに対応する位置に中枠スルーホールを備え下面の該中枠スルーホールを囲むメタライズ面を有する中枠と、該中枠の上面に固着され、励振電極が前記中枠スルーホールの上面側に個々にハンダあるいは導電接着剤にて接続された圧電振動片と、前記下ケースの上面の金属層の周縁部とロウ付けされて前記圧電振動片を気密に覆う、内面が金属あるいは無機材料であって少なくとも周縁部下面に金属部を有する蓋とより成ることを特徴とする圧電振動子。

IPC (4件)：

H03H 9/02 , H03H 3/02 , H03H 9/10 , H03H 9/19

FI (4件)：

H03H 9/02 L , H03H 3/02 B , H03H 9/10 , H03H 9/19 A

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-291710
特開昭54-133894
発振子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-092794 出願人：松下電器産業株式会社

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審査官引用 (7件)

特開平2-291710
特開昭54-133894
発振子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-092794 出願人：松下電器産業株式会社

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