特許
J-GLOBAL ID：200903060619750193
表面検査装置および表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松下 亮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-090193
公開番号（公開出願番号）：特開2009-244052
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】広範囲で被検査体の表面の欠陥を検出することができる表面検査装置および表面検査方法を提供する。【解決手段】表面検査装置10は、光を照射する投光部11と、光を第1辺部と第2辺部を有する矩形形状の光に変えて第1辺部aを拡大しかつ第2辺部bを縮小して線状の検出用光31に形成して検出用光31を被測定体1の表面2に向けて照射する集光光学部12と、被測定体1の表面2から反射した検出用光31を線状に形成した受光像40として結像するための検出部13と、検出部13で受光した線状に形成した受光像40の変形部分49を被測定体1の表面2の欠陥50とする画像処理部14とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被測定体の表面の検査をする表面検査装置であって、
光を照射する投光部と、
前記光を第1辺部と第2辺部を有する矩形形状の光に変えて前記第1辺部を拡大しかつ前記第2辺部を縮小して線状の検出用光に形成して前記検出用光を前記被測定体の表面に向けて照射する集光光学部と、
前記被測定体の表面から反射した前記検出用光を線状に形成した受光像として結像するための検出部と、
前記検出部で受光した前記線状に形成した受光像の変形部分を前記被測定体の表面の欠陥とする画像処理部と、
を備えることを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2G051AA32
, 2G051AA44
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA12
, 2G051EA30
