スピン処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-130179
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329705
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】この発明は基板を処理する複数種の処理液を確実に分離回収できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。【解決手段】基板を保持して回転駆動される回転体27と、周方向に沿って回転可能に設けられるとともに内部に上記回転体を収容したカップ体1と、上記回転体に保持された基板に向けて異なる種類の処理液を選択的に供給するノズル体29〜31と、上記カップ体の底部に設けられ上記供給手段から上記基板に供給された処理液を排出する短管3と、上記カップ体の回転方向に沿って配置された複数の分配管21〜23を有し、上記カップ体を回転させることで上記排液部が上記分配部のうちの1つに対向可能な排液切換え部17と、使用する処理液の種類に応じて上記カップ体を回転させ上記排液部を所定の分配部に対向位置決めする駆動モータ16とを具備する。

請求項（抜粋）：

回転駆動される基板を複数種類の処理液で順次処理するスピン処理装置において、上記基板を保持して回転駆動される回転体と、周方向に沿って回転可能に設けられるとともに内部に上記回転体を収容したカップ体と、上記回転体に保持された基板に向けて異なる種類の処理液を選択的に供給する供給手段と、上記カップ体の底部に設けられ上記供給手段から上記基板に供給された処理液を排出する排液部と、上記カップ体の回転方向に沿って配置された複数の分配部を有し、上記カップ体を回転させることで上記排液部が上記分配部のうちの1つに対向可能な液分離手段と、使用する処理液の種類に応じて上記カップ体を回転させ上記排液部を所定の分配部に対向位置決めする駆動手段とを具備したことを特徴とするスピン処理装置。

IPC (7件)：

H01L 21/306 , B08B 3/02 , F26B 5/08 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 651

FI (7件)：

B08B 3/02 B , F26B 5/08 , G03F 7/30 502 , H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 651 B , H01L 21/306 J , H01L 21/30 572 B

Fターム (36件)：

2H096AA25 , 2H096GA29 , 2H096HA17 , 2H096LA02 , 2H096LA30 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB33 , 3B201AB47 , 3B201BB21 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201CC13 , 3B201CD11 , 3B201CD22 , 3B201CD33 , 3L113AA04 , 3L113AB08 , 3L113AC45 , 3L113AC46 , 3L113AC53 , 3L113AC63 , 3L113BA34 , 3L113CB34 , 3L113DA13 , 3L113DA14 , 3L113DA24 , 5F043AA01 , 5F043BB27 , 5F043DD13 , 5F043EE07 , 5F043EE08 , 5F043EE33 , 5F043EE40 , 5F043GG10 , 5F046MA10

引用特許：

審査官引用 (2件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-161548 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
ウエットエッチング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-237615 出願人：株式会社ケミトロニクス

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