特許

J-GLOBAL ID：200903060716224226

新規ポリマーおよびそれを含むフォトレジスト組成物

発明者： バークレー,ジョージ・ジー ,  カポレール,ステファン・ジェー
出願人/特許権者： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
代理人 (3件)： 千田 稔 ,  辻永 和徳 ,  橋本 幸治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-568097
公開番号（公開出願番号）：特表2005-508013
出願日： 2002年02月25日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：

本発明は、1以上の1)カルボネート単位および/または2)モノマービニル基に隣接する環酸素を有するモノマーにより供給されるラクトンを含む本発明のポリマーを含むポリマーを含む。本発明は、特に200nm未満などの短波長で描画するための、そのようなポリマーを含むフォトレジストも提供する。

請求項（抜粋）：

光活性成分、並びにi)カルボネート単位、およびii)ビニル基に隣接する環酸素を有するモノマーにより供給されるラクトンの群より選択される単位を含むポリマーを含む、フォトレジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F7/039 ,  C08F234/02 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G03F7/039 601 ,  C08F234/02 ,  H01L21/30 502R

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  4J100AK32R ,  4J100AL08S ,  4J100AR11Q ,  4J100AR32P ,  4J100BC01S ,  4J100BC09S ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感光膜共重合体、感光膜共重合体の製造方法、感光膜、感光膜の製造方法、単量体の合成方法、半導体装置の製造方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-368957   出願人：現代電子産業株式会社
• レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-050264   出願人：富士通株式会社