光学的平面回路とその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-368960
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082244
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：

【要約】【課題】光路変更部品の製造上の低価格化が可能、且つ、それらの実装が容易。【解決手段】基板2と、基板2の一面に形成される光学的出射口と、その光学的出射口の光軸上に配置され基板2上に形成されるミラー1とから形成されている。ミラー1の反射面の光軸とのなす角度は0度以上90度以下である。このような角度の設定により、光路変更部品の製造上の低価格化が可能、且つ、それらの実装が容易になる。ミラー1は、基板に対して接合する接合部を持っている。ミラーはマイクロミラーとして形成され、このような光学的平面回路基板は、全体に小さいサイズに形成され得る。ミラーの反射面の材料は、金またはロジウムであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板に設けられる光学的入射口と、前記基板に設けられる光学的出射口と、前記基板に接合するミラーとを含み、前記ミラーは前記光学的入射口と前記光学的出射口との間に配置され、前記ミラーの反射面は、前記光学的入射口と前記光学的出射口との間の光軸に対して0 ゚以上より大きく90 ゚より小さい角度を有している光学的平面回路。

IPC (5件)：

G02B 6/122 , G02B 6/13 , G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01S 5/022

FI (5件)：

G02B 6/42 , H01S 5/022 , G02B 6/12 B , G02B 6/12 M , H01L 31/02 C

Fターム (25件)：

2H037AA01 , 2H037BA02 , 2H037BA11 , 2H037CA38 , 2H037DA03 , 2H037DA04 , 2H037DA06 , 2H037DA12 , 2H047KA03 , 2H047MA07 , 2H047PA03 , 2H047PA04 , 2H047PA24 , 2H047RA08 , 2H047TA05 , 2H047TA44 , 5F073AB28 , 5F073AB29 , 5F073FA06 , 5F073FA30 , 5F088BA16 , 5F088BB01 , 5F088JA03 , 5F088JA14 , 5F088JA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

光導波路-光素子結合構造およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-306210 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭64-059303
光導波路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-326610 出願人：日本電気株式会社

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