特許
J-GLOBAL ID:200903060762657412

光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鎌田 久男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-016586
公開番号(公開出願番号):特開2002-221497
出願日: 2001年01月25日
公開日(公表日): 2002年08月09日
要約:
【要約】【課題】 例えば、ホログラムのような光反射体について、その大きさにかかわらず、検査することができる光反射体検査装置とその使用方法、光反射体検査方法を提供する。【解決手段】 所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体20に対して、その入射角度で光を照射する光源11と、光反射体20で反射した光を撮像する撮像手段13とを備える。
請求項(抜粋):
所定の入射角度で入射された光を一定の出射角度で反射する光反射体に対して、その入射角度で光を照射する光源と、前記光反射体で反射した光を撮像する撮像手段とを備える光反射体検査装置。
IPC (5件):
G01N 21/898 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/47 ,  G03B 15/00 ,  G03H 1/22
FI (5件):
G01N 21/898 Z ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/47 A ,  G03B 15/00 T ,  G03H 1/22
Fターム (30件):
2G051AA32 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB20 ,  2G051BC10 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB06 ,  2G051CC09 ,  2G051CD10 ,  2G051DA06 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059GG03 ,  2G059JJ11 ,  2G059KK05 ,  2G059PP01 ,  2G086EE12 ,  2K008AA00 ,  2K008AA13 ,  2K008CC01 ,  2K008CC03 ,  2K008EE04 ,  2K008HH01 ,  2K008HH06 ,  2K008HH28
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 熱延鋼板の腰折れ防止方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-018784   出願人:日本鋼管株式会社
  • 検査方法及び装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-096941   出願人:株式会社ニコン
  • 特開平1-096685
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