特許
J-GLOBAL ID:200903060793077996
厚い単結晶ダイヤモンド層、それを造る方法及びその層から形成された宝石の原石
発明者:
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
浅村 皓
, 浅村 肇
, 池田 幸弘
, 長沼 暉夫
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-510742
公開番号(公開出願番号):特表2004-503461
出願日: 2001年06月14日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
2mmより大きな厚さを有する高い品質の単結晶CVDダイヤモンドの層。そのようなCVDダイヤモンド層を製造する方法がまた提供される。その方法は、300ppb未満の窒素を含有する雰囲気における低い欠陥密度基体上のダイヤモンド層のホモエピタキシャル成長を包含する。宝石の原石をその層から造ることができる。
請求項(抜粋):
2mmより大きな厚さを有する高い品質の単結晶CVDダイヤモンドの層。
IPC (5件):
C30B29/04
, C23C16/27
, C30B25/18
, H01L21/205
, H01L21/3065
FI (6件):
C30B29/04 W
, C30B29/04 A
, C23C16/27
, C30B25/18
, H01L21/205
, H01L21/302 102
Fターム (32件):
4G077AA02
, 4G077AB02
, 4G077AB06
, 4G077BA03
, 4G077DB19
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077EE03
, 4G077TB07
, 4G077TC17
, 4G077TK10
, 4K030BA28
, 4K030BB02
, 4K030DA04
, 4K030FA01
, 4K030JA01
, 4K030JA06
, 4K030JA10
, 4K030JA14
, 4K030LA01
, 5F004AA08
, 5F004DA23
, 5F004DA24
, 5F004DA26
, 5F004DB00
, 5F045AA03
, 5F045AB40
, 5F045AC07
, 5F045AD12
, 5F045AE19
, 5F045AF01
, 5F045BB16
引用特許:
前のページに戻る