特許
J-GLOBAL ID:200903060822727903

液晶ガラス基板の異物除去装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 和田 昭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-241853
公開番号(公開出願番号):特開平11-064835
出願日: 1997年08月22日
公開日(公表日): 1999年03月05日
要約:
【要約】【課題】 液晶ガラス基板の表面に付着している異物を確実に能率よく除去することができる除去装置を提供する。【解決手段】 昇降可能に支持した回転体23の下面に弾性質の布状素材24を貼着し、この布状素材24をガラス基板A上に接触させた状態で、上記回転体23にモータ11で自転と公転を与え、該ガラス基板Aの表面に付着した異物を効率よく確実に取り除くことができる。
請求項(抜粋):
昇降可能に支持した回転体の下面に弾性質の布状素材を貼着し、この布状素材をガラス基板上に接触させた状態で、上記回転体に自転と公転を与えて該ガラス基板上の異物を取り除くようにした液晶ガラス基板の異物除去装置。
IPC (2件):
G02F 1/1333 500 ,  B08B 11/04
FI (2件):
G02F 1/1333 500 ,  B08B 11/04
引用特許:
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る