特許
J-GLOBAL ID:200903060845047322
圧電振動子及び圧電発振器の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-273244
公開番号(公開出願番号):特開平9-116363
出願日: 1995年10月20日
公開日(公表日): 1997年05月02日
要約:
【要約】【課題】基板に圧電振動片をマウントしキャップで封止する圧電振動子の製造方法、あるいは基板に少なくとも半導体集積回路と圧電振動片をマウントしキャップで封止する圧電発振器の製造方法において、封止後にマーキングを施している為、インク乾燥処理時やレーザーマーキング加工時の熱により、熱応力、熱歪み、脱ガス及びガス吸着、リークが起き、周波数がシフトし、長期エージングにも悪影響を与える等の問題点を多く有している。【解決手段】前記圧電振動子、あるいは圧電発振器のマーキング工程を封止工程より前の工程にし、キャップ単体に予めマーキング加工を施しておく。そうすることにより、前記熱による問題点及び加工条件の制約を解決する。
請求項(抜粋):
基板に圧電振動片をマウントしキャップで封止する圧電振動子の製造方法において、前記圧電振動子のマーキング工程が封止工程より前の工程であることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (4件):
H03H 3/02
, H03B 5/32
, H03H 9/02
, H03H 9/19
FI (4件):
H03H 3/02 B
, H03B 5/32 H
, H03H 9/02 A
, H03H 9/19 A
引用特許:
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