特許
J-GLOBAL ID：200903060974714203
傷検査方法、傷検査用光源、傷検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043774
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235432
出願日： 2000年02月22日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 暗視野観察法での固有の傷検出を損なうことなく、しかも暗視野観察法では検出できないヒキ傷をも検出できるようにする。【解決手段】 まず暗視野用光源21を使ってエッジのシャープな傷を検査する。このとき水晶ブランクBに照射される光量を強弱の2段階に切り換えて2回検査する。つぎに明視野用光源22を使って、暗視野観察法で検出できなかったヒキ傷などのエッジのなだらかな傷を検査する。
請求項（抜粋）：
水晶基板の傷を光学的に検査する傷検査方法において、暗視野観察法による検査に明視野観察法による検査を加え、前記暗視野観察法では、前記水晶基板に照射する暗視野用光源の光量を、前記水晶基板に合わせて傷の光学的検査が最適になるように調光した光量と、この調光量よりも大きく設定した光量とに切り換えて複数の検査が行なえるようにし、前記暗視野観察法による光量を切換えて行なう複数の検査と、前記明視野観察法による検査とを任意に組合わせて連続的に行なうことを特徴とする傷検査方法。
Fターム (11件)：
2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AC01
, 2G051BA01
, 2G051BA02
, 2G051BA20
, 2G051BB05
, 2G051BC01
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA11
