特許
J-GLOBAL ID：200903061008870041
超臨界流体洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-324306
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156311
出願日： 1997年11月26日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 重金属による被洗浄物の汚染を防止でき、且つ、簡単な構成の超臨界流体洗浄装置を提供する。【解決手段】 洗浄槽1は2重構造となっており、内部に非金属材料からなる非金属製内槽5を有している。非金属製内槽5は被洗浄物9を載置して超臨界流体との接触を行う。非金属製内槽5の内部及びその外側の隙間領域11には同時に超臨界流体が導出入され、非金属製内槽5の内外の圧力は略一定に保たれる。逆止弁17,18は非金属製内槽5と隙間領域11との間の超臨界流体の移動を防止する。
請求項（抜粋）：
超臨界流体に被洗浄物質を接触させることで、前記被洗浄物質を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、非金属材料からなり前記被洗浄物質を載置して超臨界流体と接触させる非金属製内槽を、内部に有する2重槽構造の洗浄槽と、前記非金属製内槽の内外の圧力を略同一とする圧力調整手段と、を有することを特徴とする超臨界流体洗浄装置。
引用特許：
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