ガラス板切断装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：廣江武典 , 武川隆宣 , ▲高▼荒新一 , 中村繁元 , 西尾務
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-518770
公開番号（公開出願番号）：特表2006-520734
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】本発明は、レーザービームによるガラス板の切断の際に、切断面の品質を極大化するために、スクライブライン上のレンズを通過するレーザービームのエネルギー準位を低めることが可能な手段を有するレーザービームを用いたガラス板切断装置を提供することにある。【解決手段】ガラス板切断装置を開示する。この装置は、ガラス板上の切断開始点に微細クラックを形成するクラッキング手段と、前記ガラス板に吸収されるレーザービームを使用する少なくとも一つのスクライビング手段と、前記レーザービームの照射後、冷却流体を使用する少なくとも一つの冷却手段と、前記レーザービームを使用するブレイキング手段とを備える。前記ブレイキング手段は、レーザー発振器、反射鏡および集光レンズを含む。前記集光レンズは少なくとも二つ以上の焦点距離を有する。この装置は、前記集光レンズの代わりに、前記レーザービームの一部を透過させて前記ガラス板に照射されるようにする光透過口が形成されたフォトマスクをさらに備えることができる。本発明の装置によれば、切断線の直進性低下または粗い切断面などの従来のレンズによる問題点が防止され、よってきれいな切断面を提供する。

請求項（抜粋）：

ガラス板上の切断開始点に微細クラックを形成するクラッキング手段と、前記ガラス板に吸収されるレーザービームを使用する少なくとも一つのスクライビング手段と、前記レーザービームの照射後、冷却流体を使用する少なくとも一つの冷却手段と、前記レーザービームを使用するブレイキング手段とを備え、前記ブレイキング手段はレーザー発振器、反射鏡および集光レンズを含み、前記集光レンズは少なくとも二つ以上の焦点距離を有することを特徴とするガラス板切断装置。

IPC (6件)：

C03B 33/09 , B23K 26/38 , B23K 26/40 , B23K 26/04 , B23K 26/06 , B28D 5/00

FI (6件)：

C03B33/09 , B23K26/38 320 , B23K26/40 , B23K26/04 , B23K26/06 Z , B28D5/00 Z

Fターム (12件)：

3C069AA01 , 3C069BA08 , 3C069BB01 , 3C069CA11 , 3C069EA02 , 4E068AD00 , 4E068AE00 , 4E068CA11 , 4E068CD14 , 4E068DB13 , 4G015FA06 , 4G015FB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

大韓民国特許出願第10-2000-0042313号
大韓民国特許出願第10-2003-0000645号

審査官引用 (6件)

レーザスコアリングにおける亀裂深さの制御
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-064934 出願人：コーニングインコーポレイテッド
基板切断用冷媒、これを利用した基板切断方法及びこれを実施するための装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-076285 出願人：サムスンエレクトロニクスカンパニーリミテッド
レーザビームを利用した非メタル基板の切断方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-084508 出願人：サムスンエレクトロニクスカンパニーリミテッド

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