誘導結合プラズマ質量分析装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093539
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289685
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】イオンビームガイドの前後における信号の損失を少なくしつつ、バックグラウンドノイズを低減する。【解決手段】インターフェース部30のスキマーコーン34と質量選択部50のマスフィルタ52を軸をずらして配置し、間に介装されるイオンレンズ部40のイオンビームガイド(オクトポール100)の入側及び出側が、スキマーコーン34の出側及びマスフィルタ52のQポール54の入側とそれぞれ略正対するように、イオンビームガイドを曲線状とする。

請求項（抜粋）：

試料を霧化して、イオン化部に導入するための試料導入部と、該試料導入部からキャリアガスと共に運ばれてきた試料中の元素をイオン化するためのイオン化部と、大気圧下の該イオン化部でイオン化された元素をサンプリングして、真空下のイオンレンズ部に導入するための、スキマーを含むインターフェース部と、該インターフェース部を通過したイオンを収束して質量選択部に導入するための、イオンビームガイドを含むイオンレンズ部と、該イオンレンズ部から導入されるイオンを、測定質量数毎に分けるための、マスフィルタを含む質量選択部と、該質量選択部を通過してきた測定質量数のイオンを計数するイオン検出部とを備え、前記インターフェース部のスキマーと質量選択部のマスフィルタが軸をずらして配置され、前記イオンビームガイドの入側及び出側が、前記スキマー出側及びマスフィルタ入側とそれぞれ略正対するように、イオンビームガイドが曲線状とされていることを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-295055
誘導結合プラズマ質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-266135 出願人：横河アナリティカルシステムズ株式会社
特開昭62-264546

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