誘導結合プラズマ質量分析装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266135
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097838
出願日： 1996年10月07日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】イオンレンズ部における、質量選択部へのイオン伝達効率を向上すると共に、調整を簡単化する。【解決手段】イオンレンズ部40の少なくとも一部を、極数が4以上のマルチポールイオンビームガイド100、110、112、112B、120とする。

請求項（抜粋）：

試料を霧化して、イオン化部に導入するための試料導入部と、該試料導入部からキャリアガスと共に運ばれてきた試料中の元素をイオン化するための、トーチを含むイオン化部と、大気圧下の該イオン化部でイオン化された元素をサンプリングして、真空下のイオンレンズ部に導入するためのインターフェース部と、該インターフェース部を通過したイオンを収束して質量選択部に導入するための、イオンビームガイドを含むイオンレンズ部と、該イオンレンズ部から導入されるイオンを、測定質量数毎に分けるための、マスフィルタを含む質量選択部と、該質量選択部を通過してきた測定質量数のイオンを計数するイオン検出部とを備え、前記イオンレンズ部の少なくとも一部を、電極ロッド数が4本以上のマルチポールイオンビームガイドとしたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 , H01J 49/26 , H01J 49/42

FI (5件)：

H01J 49/06 , G01N 27/62 L , G01N 27/62 G , H01J 49/26 , H01J 49/42

引用特許：

審査官引用 (6件)

高周波四重極装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-218844 出願人：日新電機株式会社
特開昭62-264546
ビームガイド
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-135460 出願人：日本電子株式会社

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