特許

J-GLOBAL ID：200903061124817042

静電チャック

発明者： 長崎 浩一 ,  永野 三郎
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-224128
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069555
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】セラミックス製の基体中に、静電吸着用電極、抵抗発熱体、プラズマ発生用電極の3層の金属層を埋設すると、焼結時の熱膨張差によって基体に亀裂が生じたり各電極が剥離または断線する等の問題点があった。【解決手段】厚みT1 が3mm以上のセラミックスからなる基体1上に、厚みT2 が0.5mm以上の金属製の電極板2を接合し、さらに該電極板2の表面に厚みT3 が0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜3を被着して吸着面3aを形成し、静電チャックを構成する。

請求項（抜粋）：

厚さ3mm以上のセラミックスからなる基体上に厚さ0.5mm以上の金属製の電極板を接合し、さらに該電極板の表面に厚さ0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜を被着した吸着面を具備したことを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C23C 14/50 A ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-216081   出願人：キヤノン株式会社
• 半導体製造用サセプタおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-299368   出願人：京セラ株式会社
• 特開平3-188645