特許
J-GLOBAL ID：200903061191759073

製膜装置とその塗布液吐出方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス

発明者：
臼田 秀範

臼田 秀範 について

, 
山田 善昭

山田 善昭 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-050453
公開番号（公開出願番号）：特開2003-246053
出願日： 2002年02月26日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：
【要約】【課題】 スループットや作業性を低下させることなく安全性を確保する。【解決手段】 溶剤中に膜材料が溶解または分散されてなる塗布液を吐出する吐出領域55を有し、基板48の描画領域48aに対して互いに略直交する第1方向Y及び第2方向Xに相対移動する吐出手段と、吐出手段から塗布液を吸引するクリーニング機構とを有し、吐出手段が第1方向Yに相対移動して塗布液を吐出する。基板48の第1方向一方側にクリーニング機構と分離して、吐出手段から塗布液を予備吐出させる予備吐出エリア52を設ける。吐出領域の第2方向Xの長さをA、描画領域の第2方向Xの長さをBとすると、第2方向Xの長さLがL≧2A+Bで予備吐出エリア52を設ける。
請求項（抜粋）：
溶剤中に膜材料が溶解または分散されてなる塗布液を吐出する吐出領域を有し、基板の描画領域に対して互いに略直交する第1方向及び第2方向に相対移動する吐出手段と、該吐出手段から塗布液を吸引するクリーニング機構とを有し、前記吐出手段が前記第1方向に前記相対移動して塗布液を吐出する製膜装置であって、前記基板の前記第1方向一方側に前記クリーニング機構と分離して、前記吐出手段から前記塗布液を予備吐出させる予備吐出エリアが設けられ、前記吐出領域の前記第2方向の長さをA、前記描画領域の前記第2方向の長さをBとすると、前記予備吐出エリアは、前記第2方向の長さLがL≧2A+Bで設けられることを特徴とする製膜装置。
IPC (9件)：
B41J 2/01 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  B41J 2/18 ,  B41J 2/185 ,  G02F 1/13 101 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  G09F 9/00 342
FI (8件)：
B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  G09F 9/00 342 Z ,  B41J 3/04 101 Z ,  B41J 3/04 102 R
Fターム (51件)：
2C056EA01 ,  2C056EA14 ,  2C056EC08 ,  2C056EC24 ,  2C056EC54 ,  2C056EC57 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056JA13 ,  2C056JA17 ,  2C056JC23 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088HA14 ,  2H088KA30 ,  2H088MA20 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC86 ,  4D075CA47 ,  4D075CB36 ,  4D075DA06 ,  4D075DA32 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EA33 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA23 ,  4F041BA34 ,  5G435AA04 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435GG12 ,  5G435HH18 ,  5G435KK05 ,  5G435KK07 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (9件)
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