特許

J-GLOBAL ID：200903061250883948

集積型薄膜光電変換装置とその製造方法

発明者： 林 克彦 ,  近藤 正隆 ,  山岸 英雄
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-002933
公開番号（公開出願番号）：特開平10-200137
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高性能でかつ高い信頼性を有する集積型薄膜光電変換装置を提供する。【解決手段】 基板3上の第1電極層5,半導体層9および第2電極層13が平行な複数の電極分離溝17,19によって複数の光電変換セルに分割されかつそれらのセルが電気的に直列接続された集積型薄膜光電変換であって、電極層5,13を分離するための電極分離溝17,19の各々は、その溝を形成するために用いられた間欠的なレーザビームのスポットに対応した孔が連続することによって形成されており、それらの孔の中心間隔は1つの電極分離溝の全域にわたって実質的に等間隔としている。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に順次積層された第1電極層,半導体光電変換層および第2電極層が複数の光電変換セルを形成するように実質的に直線状で互いに平行な複数の分離溝によって分離されていてかつそれらの複数のセルが電気的に直列接続された集積型薄膜光電変換装置において、前記電極層を分離するための電極分離溝の各々は、その溝を形成するために用いられた間欠的なレーザビームのスポットに対応した孔が連続することによって形成されており、それらの孔の中心間隔は1つの前記電極分離溝の全域にわたって実質的に等間隔であることを特徴とする集積型薄膜光電変換装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 太陽電池モジュールの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-232819   出願人：三井東圧化学株式会社
• 半導体装置の加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-012679   出願人：日立建機株式会社
• 特開平4-263392
  
• 特開平4-263492