音叉型角速度センサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-091276
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301510
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【目的】音叉型振動子のX軸及びZ軸を回転中心とした角速度Ωx、Ωzを検出し、Y軸を回転中心とした角速度及びこれらを組み合わせた他軸検出型の各速度センサを提供する。【構成】結晶軸(XYZ)のX軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚み方向として音叉基部と一対の音叉腕とからなる音叉型振動子を用いてなる音叉型角速度センサにおいて、前記音叉型振動子に前記X軸を回転中心とする角速度Ωxを加えたとき、前記Y軸を回転中心として前記一対の音叉腕が互いに逆方向に捩れて前記音叉基部が撓み、前記音叉基部の撓みによって生ずる電荷を検出電極によって検出した構成とする。また、これにY軸及びZ軸を回転中心とした角速度Ωy及びΩzの検出機能を付加した構成とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

結晶軸(XYZ)のX軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚み方向として音叉基部と一対の音叉腕とからなる音叉型振動子を用いてなる音叉型角速度センサにおいて、前記音叉型振動子に前記X軸を回転中心とする角速度Ωxを加えたとき、前記Y軸を回転中心として前記一対の音叉腕が互いに逆方向に捩れて前記音叉基部が撓むことで生ずる電荷を検出電極によって検出したことを特徴とする音叉型角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (6件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB01 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-025714
角速度センサ及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-168724 出願人：日本電装株式会社
特開昭62-038313

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