特許
J-GLOBAL ID：200903061283175507

表示パネル、検査方法及び該表示パネルの作製方法

発明者：
山崎 舜平

山崎 舜平 について

, 
小山 潤

小山 潤 について

, 
荒井 康行

荒井 康行 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166198
公開番号（公開出願番号）：特開2002-108243
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】 表示パネルを封止する前に、ELパネルが良品か不良品かの区別をつけることが可能な表示パネルの検査方法を提供する。【解決手段】 導電膜を流れる電流の値を測定し、測定値によって不良画素を検出する工程の後、導電膜をパターニングし画素電極を形成する第1の検査方法と、全ての画素電極を検査用導電膜で接続し、前記検査用導電膜を流れる電流の値を測定し、測定値によって不良画素を検出する工程の後、前記検査用導電膜を除去する第2の検査方法。
請求項（抜粋）：
TFTと、前記TFTと電気的に接続されている画素電極とを含む複数の画素を有する表示パネルの、作製工程における検査方法であって、前記画素電極を導電膜をパターニングして形成する前に、前記複数の画素のそれぞれにおいて、各画素の有するTFTを順次オンにして、前記導電膜を流れる電流の値を測定し、前記測定した電流の値から前記TFTの良不良を確認することを特徴とする検査方法。
IPC (8件)：
G09F 9/00 352 ,  G01R 31/02 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/786
FI (10件)：
G09F 9/00 352 ,  G01R 31/02 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 624 ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 21/88 M ,  H01L 21/88 Z ,  H01L 27/08 321 D ,  H01L 27/08 321 F
Fターム (150件)：
2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB20 ,  2G014AB21 ,  2G014AC19 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094CA25 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB02 ,  5C094EA03 ,  5C094EA04 ,  5C094FA01 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094FB20 ,  5C094GA10 ,  5C094GB10 ,  5C094HA08 ,  5C094HA10 ,  5F033HH00 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH32 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033RR04 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033VV04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV12 ,  5F033VV15 ,  5F033XX10 ,  5F033XX14 ,  5F033XX19 ,  5F033XX37 ,  5F048AB10 ,  5F048AC04 ,  5F048AC10 ,  5F048BA16 ,  5F048BB02 ,  5F048BB04 ,  5F048BB06 ,  5F048BB09 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BF01 ,  5F048BF04 ,  5F048BF07 ,  5F048BF11 ,  5F110AA16 ,  5F110AA24 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC07 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE28 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG45 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ18 ,  5F110HJ23 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HL07 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110HM18 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP05 ,  5F110PP34 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ24 ,  5F110QQ25 ,  5F110QQ30 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435EE37 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05 ,  5G435LL01 ,  5G435LL07
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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