特許
J-GLOBAL ID：200903061331955250
液晶表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-049488
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248402
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 従来の製造工程に窒化珪素薄膜を堆積する以外の煩雑な工程を追加することなしに、ゲート耐圧の高い信頼性に富んだ半導体装置を備えた液晶表示装置であって高歩留まりで良好なスループットで形成することが可能な液晶表示装置を提供する。【構成】 エッチング残りの生じやすい活性層102の端面とその近傍の基板101面上には、その活性層102端面の長手方向に沿って、図1(b)に示すように絶縁性の窒化珪素膜105の一部のエッチング残り106が残ることになるが、このような絶縁性材料である窒化珪素膜105のエッチング残り106が多少生じても、短絡不良が生じることはない。
請求項（抜粋）：
絶縁性基板上と、該絶縁性基板上に島状に形成されており活性領域とその両脇に形成されたソース領域及びドレイン領域とを備えた半導体層と、該半導体層を覆うように形成された絶縁層と、該絶縁層を介して前記半導体層の活性領域と対向するゲート電極と、を備えた薄膜半導体装置を、各画素部のスイッチング素子および/または前記絶縁性基板上に配置された液晶駆動回路として用いた液晶表示装置において、前記絶縁膜は、下層の酸化珪素薄膜と上層の窒化珪素薄膜とから形成されたゲート絶縁膜であって、前記上層の窒化珪素薄膜は、前記ゲート電極直下のみに形成されており該ゲート電極直下以外の部分では除去されていることを特徴とする液晶表示装置。
IPC (3件)：
G02F 1/1333 505
, G02F 1/136 500
, H01L 29/786
G02F 1/1333 505
, G02F 1/136 500
, H01L 29/78 617 U
