特許
J-GLOBAL ID：200903061337866586
半導体装置およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-352803
公開番号（公開出願番号）：特開2005-116483
出願日： 2003年10月10日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
【課題】 本発明は、EL素子の特性を劣化させる原因である侵入する水分を遮断し、信頼性の高い封止構造としたEL表示装置と、その作製方法を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明は、発光素子を覆って窒化珪素や窒化酸化珪素などの絶縁膜からなるパッシベーション膜18a、18bを積層し、その間にビニルポリマーを含む応力緩和膜(以下、応力緩和膜と呼ぶ)18pを設ける。パッシベーション膜に比べて応力が小さい応力緩和膜を、パッシベーション膜の間に挟むことで、全体の応力を緩和することができる。従って、クラックが入ることなく、総膜厚の厚いパッシベーション膜を得ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁表面を有する基板上に陽極と、有機化合物を含む層と、陰極とを有する発光素子を備えた発光装置であって、
発光素子は、無機絶縁膜と、ビニルポリマー、アセチレンポリマー、またはジエンポリマーを含む膜とが交互に積層された多層膜で覆われていることを特徴とする発光装置。
IPC (3件)：
H05B33/04
, H05B33/10
, H05B33/14
H05B33/04
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K007AB11
, 3K007AB12
, 3K007AB13
, 3K007BB01
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 3K007FA02
出願人引用 (2件)
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有機EL素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-306143
出願人：パイオニア株式会社, 東北パイオニア株式会社
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発光装置及びその作製方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-338454
出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
審査官引用 (6件)
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