特許
J-GLOBAL ID:200903061369422400
ナノ加工のためのチャッキング・システム
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-553121
公開番号(公開出願番号):特表2008-529826
出願日: 2006年01月12日
公開日(公表日): 2008年08月07日
要約:
本発明は、とりわけ、内部に形成された貫通路を有し、ピンが延びる面を有する本体、およびピンとランドの間にチャネルを区画する複数の突起を取り囲むランドを含むチャッキング・システムに向けられる。さらなる実施形態では、本体が複数の突起を有する。
請求項(抜粋):
面を有し、その面から延びて間に複数のチャネルを区画する複数のピンを備える本体を含み、前記複数のいくつかのピンがその内部に形成された貫通路を有し、前記面が前記複数のチャネルのいくつかと重なり合って形成された複数の開口を有するチャッキング・システム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (13件):
4F209AA44
, 4F209AH33
, 4F209AM28
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN09
, 4F209PQ14
, 5D112AA05
, 5D112AA19
, 5D112AA20
, 5D112AA24
, 5D112GA00
, 5D112GA17
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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