積層型電子部品の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-085248
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012483
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】導電膜を均一に薄く形成し、小型化と高機能化を図り、安全で、低コスト化が可能な積層形電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】長尺のキャリアフィルム1上にその長手方向にわたって連続的に形成されたセラミックグリーンシート2上に導電膜5を形成する工程と、キャリアフィルム1をセラミックグリーンシート2から剥離する工程と、導電膜5が形成された複数枚のセラミック積層体を用意し、それを焼結する工程とを備え、導電膜5を形成する工程は、セラミックグリーンシート2上にシュウ酸銅とパラジウム塩とアルカリ溶液とを含む親水性の活性化触媒液を付与して形成した感光膜3の特定の領域に光を照射して金属パラジウム4を析出させ、感光膜3で光が照射されなかった領域を水で洗い流す工程と、金属パラジウム4が析出したセラミックグリーンシート2に無電解めっきを施す工程を有する。

請求項（抜粋）：

セラミックグリーンシートを用意する工程と、セラミックグリーンシート上に導電膜を形成する工程と、導電膜が形成された複数枚のセラミックグリーンシートを積層し、セラミック積層体を用意する工程と、前記セラミック積層体を焼結する工程とを備え、前記セラミックグリーンシート上に導電膜を形成する工程は、セラミックグリーンシート上に親水性の活性化触媒液を付与して、活性化触媒液からなる感光膜を形成する工程と、前記感光膜に光を照射して活性化触媒を析出させる工程と、前記活性化触媒が析出した前記セラミックグリーンシートを無電解めっき浴に浸漬し、前記セラミックグリーンシートに無電解めっきを施す工程と、を有することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。

IPC (5件)：

H01G 4/12 364 , G03F 7/004 501 , H01C 17/06 , H01F 41/04 , H01G 4/30 311

FI (5件)：

H01G 4/12 364 , G03F 7/004 501 , H01C 17/06 A , H01F 41/04 C , H01G 4/30 311 D

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭63-169015
特開昭63-169015
特開昭57-039166

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