特許

J-GLOBAL ID：200903061611060615

被加工物制振装置

発明者： アームストロング アレン
出願人/特許権者： マイクリオン コーポレーション
代理人 (1件)： 金久保 勉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-564228
公開番号（公開出願番号）：特表2002-522900
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：

【要約】本発明は、精密加工システムにおいて、被加工物を支持するための装置を提供する。本装置は、被加工物を概ね一平面内で支持するための複数の被加工物接触要素と、被加工物の振動を抑制するための順応性の静止摩擦支持体とを含む。本被加工物支持装置は、前記複数の被加工物接触要素と前記順応性の静止摩擦支持体とに結合したベース部材を含んでもよい。前記順応性の静止摩擦支持体は、被加工物と接触するためのスライダ装置を含んでもよい。このスライダ装置は、前記ベース部材と滑り摩擦結合している。前記順応性の静止摩擦支持体は、前記スライダ装置を押圧して被加工物と接触させるための被加工物接触ばねをさらに含んでもよい。前記順応性の静止摩擦支持体は、静止摩擦ばね要素をさらに含んでもよい。前記静止摩擦ばね要素は、前記スライダ要素と接触している。前記静止摩擦ばね要素は、前記スライダ要素を押圧して、前記ベース部材と摩擦接触させる。以上のように、前記順応性の静止摩擦支持体は、被工作物を、振動力に抗して確実に支持する。

請求項（抜粋）：

精密加工システムにおいて被加工物を支持するための装置であって、前記装置が、 前記被加工物を支持するための、複数の被加工物接触要素を備え、前記複数の被加工物接触要素が概ね一平面を形成し、 前記複数の接触要素に取り付けられ、前記平面に対し垂直方向の被加工物の振動を抑制するために、前記被加工物を振動力に抗して確実に支持するように構成された、順応性の静止摩擦支持手段を備えたことを特徴とする、被加工物支持装置。

IPC (6件)：

H01L 21/302 ,  B81C 5/00 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/68 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/04

FI (7件)：

B81C 5/00 ,  H01J 37/20 A ,  H01L 21/68 N ,  G21K 5/00 R ,  G21K 5/04 A ,  G21K 5/04 M ,  H01L 21/302 Z

Fターム (11件)：

5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C001DD03 ,  5F004BB21 ,  5F004CA05 ,  5F031CA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA12 ,  5F031MA32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 平板状試料の移動ステージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-336683   出願人：日本電子株式会社
• IC素子への穴加工・金属薄膜成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-184175   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-002604
  
• 特開平3-002604