特許

J-GLOBAL ID：200903061615707257

耐プラズマ性部材およびその製造方法

発明者： 内丸 知紀 ,  森田 敬司 ,  市島 雅彦 ,  上野 宏子 ,  齋藤 秀一 ,  青木 克明 ,  西村 絵里子
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-221844
公開番号（公開出願番号）：特開2002-037683
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】 高い耐プラズマ性を有するとともに、曲げ強度や強靱性などの機械的な強度もすぐれた低コスト型の耐プラズマ部材および製造方法の提供。【解決手段】 セラミックス系燒結体から成る基材13と、前記基材13表面に形成された周期律表IIA族元素およびIIIA族元素の群から選ばれた少なくとも1種の元素を含む厚さ1〜1000μmのフッ化物層14とを有することを特徴とする耐プラズマ性部材15である。

請求項（抜粋）：

セラミックス系燒結体から成る基材と、前記基材表面に形成された周期律表IIA族元素およびIIIA族元素の群から選ばれた少なくとも1種の元素を含む厚さ1〜1000μmのフッ化物層とを有することを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (4件)：

C04B 41/87 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  C23C 14/06

FI (5件)：

C04B 41/87 D ,  C04B 41/87 J ,  H01L 21/31 A ,  C23C 14/06 G ,  H01L 21/302 B

Fターム (17件)：

4K029AA07 ,  4K029BA42 ,  4K029BC01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB29 ,  5F045AA08 ,  5F045AC00 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05 ,  5F045EH08 ,  5F045EM09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 耐蝕性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-018471   出願人：太平洋セメント株式会社