ウエハステージ、ウエハの温度調整方法及びドライエッチング装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222035
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064985
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】スループットに影響を与えることなく、短時間でウエハの温度を変更することができるようにしたウエハステージの提供が望まれている。【解決手段】絶縁材料からなる誘電体6と導体からなる電極7とを備えた静電チャック3と、静電チャック3に接合された金属製ジャケット2とからなるウエハステージ1である。電極7は、誘電体6を金属製ジャケット2に固定するためのろう付け層によって形成されている。金属製ジャケット2は、その内部にヒータ4と冷却手段に接続される冷媒配管5とを埋め込んで形成されている。

請求項（抜粋）：

絶縁材料からなる誘電体と導体からなる電極とを備えた静電チャックと、該静電チャックに接合された金属製ジャケットとからなり、前記電極が、前記誘電体を金属製ジャケットに固定するためのろう付け層によって形成され、前記金属製ジャケットが、その内部にヒータと冷却手段に接続される冷媒配管とを埋め込んで形成されたことを特徴とするウエハステージ。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/3065

FI (2件)：

H01L 21/68 R , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

静電チャック及びその作製方法並びに基板処理装置及び基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019462 出願人：ソニー株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-240492 出願人：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研
特開昭53-070566

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