特許

J-GLOBAL ID：200903061739742808

耐蝕性部材

発明者： 石田 弘徳 ,  梅津 基宏 ,  石井 守
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001697
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200776
出願日： 1999年01月07日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造、ポリイミド基板製造、液晶プラズマ処理等で使われるハロゲン系ガスのプラズマに対して優れた耐蝕性を有する耐蝕性部材を提供する。【解決手段】 プラズマに曝される半導体製造、ポリイミド基板製造、液晶プラズマ処理等の部材を、セラミックス、ガラス、金属あるいは金属基複合材料からなる基材とその基材表面に配向したマグネシウム酸化物膜とにより構成することによって部材の耐蝕性を向上する。

請求項（抜粋）：

プラズマに曝される耐蝕性部材であって、セラミックス、ガラス、金属あるいは金属基複合材料からなる基材と、その基材表面に配向したマグネシウム酸化物膜とを備えていることを特徴とする耐蝕性部材。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 14/08 ,  B32B 9/00 ,  C04B 41/87

FI (5件)：

H01L 21/302 B ,  C23C 14/08 J ,  B32B 9/00 A ,  C04B 41/87 F ,  C04B 41/87 J

Fターム (27件)：

4F100AA18B ,  4F100AB01A ,  4F100AD00A ,  4F100AG00A ,  4F100BA02 ,  4F100EH66 ,  4F100EJ15 ,  4F100EJ61 ,  4F100GB41 ,  4F100GB43 ,  4F100JA20B ,  4F100JB02 ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA43 ,  4K029BB07 ,  4K029BC01 ,  4K029BD01 ,  4K029CA03 ,  4K029DD05 ,  4K029FA02 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA17

引用特許：

審査官引用 (2件)

• AC型プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-037855   出願人：富士通株式会社
• 固体環状ガス放電電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-265165   出願人：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー