特許

J-GLOBAL ID：200903061748436655

平板型基板ホルダー

発明者： 鄭 光鎬 ,  金 成文 ,  李 然珍
出願人/特許権者： 鄭 光鎬
代理人 (3件)： 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-098122
公開番号（公開出願番号）：特開2005-286114
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 LCDやPDP,有機ELなどの平板ディスプレイの製造に用いられるガラス基板などの平板型基板を好適に保持可能なホルダーを提供すること。【解決手段】 支持台10の上面に載置された平板型基板12を保持する平板型基板ホルダーが提供される。この平板型基板ホルダーは,支持台10の上部に略水平に配設され,底面に複数の第1の孔22が穿設された保持板20と;保持板20の底面に装着され,第1の孔22を密閉する複数の第1の弾性膜24と;第1の弾性膜24の下面側に設けられ,平板型基板12を粘着する粘着膜26と;第1の弾性膜を下方に膨張させる弾性膜制御手段と;を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持台の上面に載置された平板型基板を保持する平板型基板ホルダーにおいて: 前記支持台の上部に略水平に配設され,底面に複数の第1の孔が穿設された保持板と; 前記保持板の底面に装着され,前記第1の孔を密閉する複数の第1の弾性膜と; 前記第1の弾性膜の下面側に設けられ,前記平板型基板を粘着する粘着膜と; 前記第1の弾性膜を下方に膨張させる弾性膜制御手段と; を備えることを特徴とする,平板型基板ホルダー。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (10件)：

5F031CA05 ,  5F031HA12 ,  5F031HA32 ,  5F031HA46 ,  5F031HA56 ,  5F031HA80 ,  5F031MA29 ,  5F031NA05 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 物品の取りはずし方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-245641   出願人：株式会社村田製作所
• 電子部品実装装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-265875   出願人：松下電器産業株式会社
• デバイス製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-214777   出願人：キヤノン株式会社