薄膜キャパシタ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288742
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135077
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】従来の薄膜キャパシタにおいては、上部電極層にサイドエッチングによる寸法のばらつきが発生して対向電極面積がばらつくために、小面積化を進めるほど容量値のばらつきが大きくなっていた。【解決手段】本発明の薄膜キャパシタは、絶縁基板6上に下部電極層7と誘電体層8と第1の上部電極層9と第2の上部電極層10とを順次形成して成り、第1の上部電極層9の厚みが0.005 〜1μm、第2の上部電極層10の厚みが第1の上部電極層9の厚みの2倍〜10μmであるものである。上部電極層を精度良く形成することができるので、容量値のばらつきが小さい小型かつ高精度の薄膜キャパシタとなる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に下部電極層と誘電体層と第1の上部電極層と第2の上部電極層とを順次形成して成り、前記第1の上部電極層の厚みが0.005乃至1μm、前記第2の上部電極層の厚みが前記第1の上部電極層の厚みの2倍乃至10μmである薄膜キャパシタ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

薄膜コンデンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-098179 出願人：日本特殊陶業株式会社
セラミック基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-347655 出願人：日本特殊陶業株式会社

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