加速電圧・電子流の同時可変方式

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川瀬茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350925
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166097
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】電子線照射装置において加速電圧変更、装置停止に掛かる時間を削減すること。【解決手段】走査幅qを所定値に保つよう走査コイル電流Isを加速電圧Vacに応じて変化させ、電子電流Icを加速電圧の変化とともに同時的に変える。

請求項（抜粋）：

電子線照射装置において、走査幅qを所定の値にするように走査コイル電流Isを調整しつつ電子電流Icと加速電圧Vacを同時に変化させることを特徴とする加速電圧・電子流の同時可変方式。

IPC (2件)：

G21K 5/04 , H01J 37/04

FI (4件)：

G21K 5/04 C , G21K 5/04 E , G21K 5/04 S , H01J 37/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

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