特許
J-GLOBAL ID：200903061832975030
真空紫外及び紫外エキシマ光検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293656
公開番号（公開出願番号）：特開平8-136339
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 誘電体バリア放電ランプなどから放射される真空紫外及び紫外エキシマ光を測定するために、紫外エキシマ光照射による劣化が少なくて入射角特性に優れ、かつ、小型である紫外エキシマ光検出器を提供することである。【構成】 希ガスエキシマあるいは希ガスハロゲンエキシマから放出される紫外エキシマ光の検出器を、少なくとも光導入窓材と、該光導入窓材に密着もしくは近接して設けた希土類元素付括の蛍光体あるいはZn2 SiO4 : Mnからなる蛍光体膜と、該蛍光体膜の設けた該光導入窓材と反対側に設けられた光電変換素子から構成した。
請求項（抜粋）：
希ガスエキシマあるいは希ガスハロゲンエキシマから放出される真空紫外及び紫外エキシマ光の検出器において、該検出器を、光導入窓材と、該光導入窓材に密着又は近接して設けた希土類元素付括の蛍光体あるいはZn2 SiO4:Mnからなる蛍光体あるいはBaAl12O19:Mnからなる蛍光体の蛍光体膜と、該蛍光体膜の該光導入窓材と反対側に設けられた光電変換素子からなる構成としたことを特徴とする真空紫外及び紫外エキシマ光検出器。
IPC (2件)：
引用特許：
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